加工技術ガラスエッチングGLASS ETCHING
ガラスエッチング
ガラスエッチングとは、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食させ、溝や段彫り加工などを施す技術です。基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスが使用されます。フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして使用するので、高精度のパターンが形成できます。
また、深さ方向の寸法制御も可能です。薬品による腐食作用なので、表面は比較的滑らかに仕上がります。
開口幅:400μm
深さ:80μm
ガラスエッチングの腐食作用は全方向に進みます(等方性)。 例えば、マスクパターンの開口部が10μmで、深さ1μm彫った場合、溝の巾は約12μmに仕上がります。
工程図
用途
流路、スタンパー(インプリント用ガラス板)、印刷用版、その他